“扩散电阻”的意思、由来-百科全书

词条	扩散电阻
释义	扩散电阻信息科学卷扩散电阻　　利用扩散工艺在硅片表面掺入三价或者五价元素，改变硅片的电阻率所形成的电阻。如在（含磷杂质）n型衬底的硅片上，注入硼离子，形成p型扩散电阻。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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