出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 发光和显示材料
| 词条 | 射频溅射法 |
| 释义 | 射频溅射法 射频溅射法 利用核能粒子轰击靶材，使靶材原子或分子被溅射出来并沉积到衬底表面的工艺。技术优点是：（1） 具有很高的镀膜速度；（2） 适用于多种涂覆材料，包括各种合金及化合物；（3） 适用于不同的集材，如塑料、瓷和金属；（4） 沉积速率高，适合大面积薄膜的制备。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 发光和显示材料 |
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