“超高真空化学气相沉积”的意思、由来-百科全书

词条	超高真空化学气相沉积
释义	超高真空化学气相沉积材料科学卷超高真空化学气相沉积　　在低于10-6帕的非常低压环境下化学气相沉积的薄膜生长方法。其装置主要包括：不锈钢生长室、靶台及加热系统、预真空室及样品传送系统、生长室和预真空室各自配有真空系统、气路系统、反射高能电子衍射（RHEED）及真空检测系统。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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