“三探针法”的意思、由来-百科全书

词条	三探针法
释义	三探针法材料科学卷三探针法　　电学测量电阻率的方法之一。将直线排列的三个金属探针与半导体外延样品表面接触，测量反向电流-电压特征。可从击穿电压计算掺杂浓度再换算为电阻率值。参见“二探针法”。出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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