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三探针法
释义
三探针法
材料科学卷
三探针法
电学测量电阻率的方法之一。将直线排列的三个金属探针与半导体外延样品表面接触,测量反向电流-电压特征。可从击穿电压计算掺杂浓度再换算为电阻率值。参见“
二探针法
”。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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更新时间:2025/7/25 2:57:01