“氧化增强扩散”的意思、由来-百科全书

词条	氧化增强扩散
释义	氧化增强扩散信息科学卷氧化增强扩散　　氧化过程中，在硅的氧化界面上产生过量的硅间隙原子，这些间隙原子的一部分向衬底运动，使衬底表面附近的硅间隙原子的浓度超过平衡值，从而增强了那里的掺杂杂质元素的扩散的现象。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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