出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
| 词条 | 离子注入机 |
| 释义 | 离子注入机 离子注入机 获得各种不同要求离子束的重要设备。按束流大小，分小束流离子注入机、中束流离子注入机和大束流离子注入机；按产生的离子束能量大小，分低能量离子注入机、中能量离子注入机和高能量离子注入机。不同的设备各有其特定的应用，例如：中束流离子注入机用于那些掺杂剂量适中但精度控制要求非常高的掺杂工艺，如阀值调整等；大束流离子注入机用于掺杂剂量很高的场合，如源漏极的形成和多晶硅栅极的掺杂。其参数主要包括：产生离子束的均匀性和重复性、能量纯度、束流大小、注入角度准确性、杂质微粒、污染等。 出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性 |
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