“离子溅射”的意思、由来-百科全书

词条	离子溅射
释义	离子溅射材料科学卷离子溅射　　一种物理气相沉积的方法。在真空室内通入（0.1～1.0）×106帕的惰性气体（如氩），使之在高压下辉光放电，气体离子在强电场作用下轰击膜料制成的阴极靶，使表面的原子被溅射出来，沉积在基体上成膜。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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