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多靶共聚焦溅射法
释义
多靶共聚焦溅射法
材料科学卷
多靶共聚焦溅射法
采用多个靶材的同时溅射实现复合材料制备的工艺技术。属物理气相沉积。其优点是便于调节材料的组分,对于材料组分筛选非常有效。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 信息储存材料
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更新时间:2025/7/10 14:31:54