“多靶共聚焦溅射法”的意思、由来-百科全书

词条	多靶共聚焦溅射法
释义	多靶共聚焦溅射法材料科学卷多靶共聚焦溅射法　　采用多个靶材的同时溅射实现复合材料制备的工艺技术。属物理气相沉积。其优点是便于调节材料的组分，对于材料组分筛选非常有效。出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 信息储存材料
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