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铝互连
释义
铝互连
信息科学卷
铝互连
在集成电路芯片上淀积金属铝薄膜,并通过光刻技术形成布线,把互相隔离的元件按一定要求连接成所需电路的工艺。成本较低,用于超大规模集成电路中。已逐渐被铜互连取代。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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更新时间:2025/6/1 12:13:46