“铝互连”的意思、由来-百科全书

词条	铝互连
释义	铝互连信息科学卷铝互连　　在集成电路芯片上淀积金属铝薄膜，并通过光刻技术形成布线，把互相隔离的元件按一定要求连接成所需电路的工艺。成本较低，用于超大规模集成电路中。已逐渐被铜互连取代。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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