“聚焦离子束加工”的意思、由来-百科全书

词条	聚焦离子束加工
释义	聚焦离子束加工信息科学卷聚焦离子束加工　　在电场及磁场作用下，将离子束聚焦到亚微米甚至纳米量级，通过偏转系统和加速系统控制离子束，实现微细结构加工的技术。已在掩模修复、电路修正、失效分析等方面获得应用。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体加工技术
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