出处：材料科学卷 • 总类 • 材料科学综述
| 词条 | 薄膜材料 |
| 释义 | 薄膜材料 薄膜材料 主要指用特殊方法获得的、依靠基体支承且具有与基体不同的结构和性能的二维材料。薄膜的厚度通常为几十纳米至微米级。几乎所有的固体材料都能制成薄膜材料。制备方法主要有物理气相沉积、化学气相沉积、溶胶凝胶法、电化学沉积等。薄膜很薄，需要基体支承，薄膜和基体合在一起使用。根据薄膜用途的不同，对基体的要求也不同。用各种工艺方法，控制一定的工艺参数，可以得到不同结构的薄膜，而结构决定性能。薄膜有多种分类方法，主要按成分、结构和用途来分类：按成分，有金属、合金、陶瓷、半导体、化合物、塑料及其他高分子材料等，有些对纯度、合金配比、化合物的组分比有严格要求；按结构，有多晶、单晶、非晶态、超晶格、特定方向取向、外延生长等；按用途，大致可分为光学、微电子、光电子、集成光学、信息存储、防护和装饰功能六大类。薄膜因具有特殊的成分、结构和尺寸效应而获得三维材料所没有的性能，加之用材很少，有着广泛而重要的应用前景。 出处：材料科学卷 • 总类 • 材料科学综述 |
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