“薄膜沉积”的意思、由来-百科全书

词条	薄膜沉积
释义	薄膜沉积材料科学卷薄膜沉积　　气相或液相中的中性或带电的原子或原子团在固体表面不断凝聚，形成固体薄膜的方法。沉积时，可控制材料的成分和结构。广泛用于制备电子薄膜、光学及光电子薄膜、磁学及磁光薄膜、超导薄膜和生物薄膜等。出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
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