利用吸气剂的化学活性捕集气体从而降低气压的真空泵。钛、锆、钡和钼，以及它们的某种合金是化学活性较强的吸气剂材料，其中最常用的是钛，故又称为“钛泵”。在真空中利用电子轰击或焦耳加热使吸气剂不断升华并淀积在冷壁表面，形成新的吸气剂膜层，从而不断吸附剩余气体分子，以提高真空度。可获得低于10⁸帕的超高真空。