利用高速运动的电子束代替光波的一种显微镜。显微镜能分辨的微细结构，可达波长的量级。由于电子波的波长仅为可见光波长的十万分之一，约0.005纳米，故可大大提高显微镜的分辨本领。工作原理为在一个高真空系统中，由电子枪发射电子束，穿过被研究的试样，经电子透镜聚焦放大，在荧光屏上显示一放大的像的，称为“通用式电子显微镜”；而用电子束在试样上逐点扫描，然后用电视原理进行放大成像显示在电视显像管上的，称为“扫描式电子显微镜”。根据不同的成像原理，还有发射式电子显微镜、反射式电子显微镜、镜式电子显微镜等各种类型。广泛应用于金属物理学、高分子化学、微电子学、生物学、医学及工农业生产等各个领域。通用式电子显微镜直接放大倍数可达80万倍左右；由于电子透镜的像差不能完全消除，电子显微镜的分辨本领最好还只能到0.2纳米。用它可看到病毒、大分子以及金属材料的晶格结构等。