亦称“抽气机”。抽除气体以获得*真空的装置。最重要的有三类:(1)利用机械方法的称为“机械泵”,其中以*转动真空泵应用最广,可用以获得1~101帕的真空;(2)利用高速的油或汞的蒸气分子流将稀薄气体中的分子带到压强较高的区域,然后被机械泵抽除的称*扩散泵,可获得较高的真空,一般可达102~105帕;(3)使气体分子电离然后被洁净的固体表面吸附从而降低气压的称为“吸附泵”,可获得超高真空,达106帕或更低的气压。此外,还有利用化学吸附作用的“吸气剂泵”等。扩散泵和吸附泵都必须先经机械泵作用后才能工作,因此机械泵又被称为“前级泵”。除上述三类真空泵外,如果所要求的真空度不高