利用蒸气流进行工作的一类真空泵。用油类作为蒸气源的，称为“油扩散泵”；用汞的称为“水银扩散泵”。工作时必须与前级泵（如*转动真空泵）一同使用，应在前级泵把待抽容器抽到一定真空度（1～0.1帕）以后，扩散泵才开始工作，此时泵底的油经电炉加热化为蒸气，上升后在各级喷口内高速喷出，容器中的气体分子扩散到气流中去，被蒸气分子携带下降，压缩为较大的浓度而被前级泵抽出；油蒸气本身则受泵壳外水冷管的冷却而重新液化，回入油槽。这样周而复始，一般可使被抽容器内的真空度提高到10²～10⁵帕范围。使用经过特殊处理的扩散泵，还可得到超高真空（10⁵帕以下）。除了油和汞以外，可用作扩散泵蒸气源的还有碘、石蜡等。