一种气体分子激光器。工作物质为准分子气体。一些气体或蒸气的原子，在高气压及快速脉冲放电的条件下被激发而同其他原子结合成不稳定分子，即准分子。处于激发态的准分子在很短时间内即向基态跃迁并产生光辐射。跃迁到基态的分子又立即解离成原子。所以准分子的下能级经常是没有粒子数的。准分子激光器具有很高的增益。以同种原子制成的准分子激光器工作物质有Xe₂、Kr₂、Ar₂等。用不同种类原子制成的准分子激光器工作物质最常见的是惰性气体的卤化物体系，例如，XeF、XeCl、KrF等。具有功率高、能量大等特点，输出波长大多处于紫外光区域，可以在小区间内作波长连续调谐。广泛应用在激光光谱学、激光化学、非线性光学、激光生物学等领域。