出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 双轴应变 |
| 释义 | 双轴应变 双轴应变 亦称“全局应变”。在整个硅片表面形成一层均匀的应变硅层，即在硅片平面内两个方向（x轴和y轴方向）上均产生的应变。在应变硅制备技术中，在晶体管制作前在衬底上形成应变硅晶片，国际上微电子工业评价的应变硅衬底主要是“全局”方案：（1） 在绝缘体弛豫硅锗上生长的应变硅；（2） 直接在绝缘体上生长的应变硅。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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