“金属有机物气相淀积”的意思、由来-百科全书

词条	金属有机物气相淀积
释义	金属有机物气相淀积数理化力学卷金属有机物气相淀积　　在气相外延的基础上用金属有机化合物作为组分源热解反应生长的技术。是半导体外延生长工艺之一。生长过程中对衬底温度要求低,采用的源气体纯度高,生长速率快且易于精确控制,适合超薄层结构的生长。出处：数理化力学卷 • 物　　理 • 固体物理学
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