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词条 沾污
释义
沾污
沾污  半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害微芯片成品率及电学性能的不希望有的物质。会产生有缺陷的芯片。导致硅片上的芯片无法通过电学测试。常见的沾污有颗粒、金属杂质、有机物、自然氧化层、静电释放等。
出处:信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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更新时间:2025/2/8 5:46:38