出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 绝缘体上高阻硅材料 |
| 释义 | 绝缘体上高阻硅材料 绝缘体上高阻硅材料 上层硅和衬底硅的电阻率大于1千欧·厘米的绝缘体上硅材料。先进射频器件等要求高阻绝缘体上硅衬底和高阻晶圆，高阻衬底将极大地改善无源元件的性能。高阻绝缘体上硅衬底在与射频电路、压控振荡器和低噪声放大器等合成时，还可进一步突出模拟/数字混合电路的优势，以适应各种工艺的变化和扰动效应。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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