出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 蓝宝石外延片 |
| 释义 | 蓝宝石外延片 蓝宝石外延片 亦称“蓝宝石上硅”。英语缩写SOS。在蓝宝石衬底上外延生长的硅单晶薄膜材料。为绝缘体上硅技术之一。其集成电路已在军事和天气预报卫星中使用，以免受电离辐照造成的干扰。但蓝宝石和硅之间的晶格失配引起在顶层硅中产生了高密度的晶格缺陷，尤其在硅/三氧化二铝界面附近，这使得在制备器件的薄膜内产生应力。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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