出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料
| 词条 | 半导体级硅 |
| 释义 | 半导体级硅 半导体级硅 亦称“电子级硅单晶”、“超纯硅”。满足半导体微电子要求的硅单晶。一般的半导体器件要求硅的纯度为六个9以上。大规模集成电路的要求更高，硅的纯度必须达到九个9。已制造出纯度为十二个9的单晶硅。主要有直拉法（CZ）单晶、区熔法（FZ）单晶、施加磁场的直拉法（MCZ）单晶、硅外延片和非晶硅薄膜等。使用真空区熔法提纯，可以得到纯度很高的近本征硅。用于制备元素半导体，也作其他半导体材料的掺杂源。 出处：材料科学卷 • 信息功能材料 • 元素半导体和硅基材料 |
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