亦称“氧化作用”。氧化本来指物质和氧化合的反应，还原指含氧物质被夺去氧的反应。一种物质被氧化，同时必有另一种物质被还原，两者是分不开的。例如，氧化铜和氢的反应中：氧化铜被还原为铜，氢则被氧化为水。又因在氧化还原反应中，总有电子的传递，所以从广义来说，一物质（分子、原子或离子）失去电子称“氧化”，另一物质得到电子称“还原”，其中电子得失的数目必须相等。在半导体晶片表面制备氧化层的工艺。如在硅片表面生长二氧化硅层，在扩散时能对杂质起掩蔽作用，以进行选择扩散；对晶片表面可起保护作用或钝化晶片表面，以提高器件的可靠性和稳定性；可用作引线间和元件间的隔离绝缘层；也可用作电容中的介质层。