能测量各类集成电路的电气参数的仪器的统称。有线性集成电路测试仪、数字集成电路测试仪、集成电路直流参数测试仪、集成电路功能测试仪和集成电路动态参数测试仪等。由于集成电路品种繁多、测量参数及项目又很不一致，因此多数集成电路测试仪都是专用的，或根据特殊需要进行设计。