“反应蒸镀”的意思、由来-百科全书

词条	反应蒸镀
释义	反应蒸镀材料科学卷反应蒸镀　　将活性气体导入真空室，使活性气体的原子、分子与来自蒸发源的金属原子、低价化合物分子在基体表面沉积过程中发生反应，形成化合物薄膜的真空蒸镀工艺。出处：材料科学卷 • 金属材料 • 表面改性
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