一种测量角速度的微型陀螺仪。其微结构部件用微电子技术制造。有两种类型：(1)振动式，利用石英或硅制的振动构件（如音叉、框架等），在被基座带动旋转时的科氏效应测量角速度；(2)转子式，硅制转子采用静电支悬并通过力矩再平衡回路测量角速度。具有微型化和低成本等优点，但难以达到高精度。用于短时工作的战术导弹和智能炮弹的制导系统；与全球卫星定位系统(GPS)组合可构成导航系统；尤其在汽车、机器人、摄像机等众多民用领域可望有广阔的应用前景。