出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术
| 词条 | 探针台 |
| 释义 | 探针台 探针台 对承载的被测样品进行精确定位的工具。主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。按操作方式，分手动、半自动、全自动等类型。按功能，分温控探针台、真空探针台（超低温探针台）、霍耳效应探针台、表面电阻率探针台等。 出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体测试技术 |
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