“栅氧层”的意思、由来-百科全书

词条	栅氧层
释义	栅氧层信息科学卷栅氧层　　用来把栅极与下方源极、漏极以及源漏极间导电沟道隔离开来的氧化介质层。是绝缘体。通过将沟道上方的硅氧化为二氧化硅而形成，其厚度大约为5～200纳米。栅氧化层使得栅极能够维持1～5毫伏/米3的纵向电场，这个电场可以用来控制下方沟道的导通和关断。出处：信息科学卷 • 微电子 • 半导体器件与技术
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