“透射电子显微镜”的简称。观察分析物质内部细微组织结构的仪器。利用高能电子束穿透晶体物质薄膜时发生衍射的原理，通过多级电磁透镜予以聚焦和放大成像，可获得极高的放大倍率，总放大率达百万倍，其分辨本领最佳可达0.1纳米。不仅能显示高倍显微组织和晶体缺陷等微观图像，还能显示物质内部原子排列情况的晶格像。能同时进行选区电子衍射分析，测定晶体取向、晶体结构等。分析型透射电镜附有能谱分析仪，可同时进行材料的微区化学成分分析。