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词条 石英振子式气体传感器
释义
石英振子式气体传感器
石英振子式气体传感器  通过石英振子的共振进行气体测量的传感器。由石英振子微秤构成,该微秤由直径为数微米的石英振动盘和制作在盘两边的电极构成。当振荡信号加在器件上时,器件会在其特征频率发生共振。振动盘上淀积有机聚合物,聚合物吸附气体后,使器件质量增加,从而引起石英振子的共振频率降低,通过测定共振频率的变化来识别气体。
出处:材料科学卷 • 信息功能材料 • 敏感材料和探测器材料
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更新时间:2025/3/13 21:41:49